細薄熱電対 の構造と特徴

FINE SHEET GAGE THERMOCOUPLE KFS series

極細薄熱電対

    7±2mm
極細薄熱電対仕様
被覆
・ガラス
・テフロン
元線素線
・100μm径
・200μm径
・320μm径
中間部   先端部厚
・25μm径……10μm
・50μm径……20μm

極細熱電対(先端部のみ25μmまたは50μm径の熱電対)の先端部を薄くした熱電対です。


1.極細薄熱電対の特徴
  • シリコンウェーハー表面温度等極細部の表面温度の測定に最適です。
  • 熱電対自体の熱容量が小さいので、より応答が速く、かつ高精度に測定できます。
  • 細く、しなやかであることからAgペースト等で加熱固定時、熱電対先端が動きません。

2.極細薄熱電対 製品仕様

  • K型(クロメル-アルメル)
  • 元線:  ガラス被覆 または テフロン被覆
          線径  200μm または 100μm (320μm)
          長さ  ご指定ください。
  • 先端:  
    中間部径 先端厚
    25μm 約10μm
    50μm 約20μm
    長さ指定のない場合  中間部約3mm、先端部約7mmで製作しています 
       (中間部+先端部は5mm〜約23mmまで可能です。)
       (先端部は3mm〜約10mmまで可能です。)

3.極細薄熱電対 型番 こちら をご覧ください
  
HOME [Japanese][English]
(C)Copyright 1997 Y.Anbe All rights reserved.